支持100um超薄晶片
尼康最新的卡盤系統可以支持100μm超薄晶片。這種高水平的安全性和可靠性滿足了對最新晶片的檢驗要求。
經過改良的晶片感應功能
晶片感應光束的最優化排列可精確檢測到晶片扭曲
晶片槽按鈕的設計提高了操作性
晶片槽按鈕允許使用者只要按一個按鈕即可選擇槽中的任意晶片
高處理能力
超快的升降器,非接觸式對中機構的快速正確位移、多臂系統的精確裝卸晶片實現了高效晶片傳送和更換
存取工具
由于搬運機配備網絡服務功能,將PC連接至LAN 后可使用PC方便地創建檢查處方和備份數據。
高性能檢測功能及多種照明方式
結構圖:
參數: